При прохождении ультразвука в жидкой среде образуются разрывы, именуемые кавитационными полостями. В момент сжатия полости захлопываются, создавая в пузырьках огромное по величине давление.
Местами образования кавитационных полостей могут быть пузырьки газа и пара в жидкости, твердые частицы и неровности твердых поверхностей.
Импульсные давления кавитации могут привести и к разрушению поверхности, поэтому следует создавать оптимальные параметры процесса. При этом способе возможно удаление прочно удерживающихся частиц с внутренней и наружной поверхностей, происходит разрушение ампул с микротрещинами и другими дефектами под действием ультразвука, оказывается бактерицидное действие.
Усовершенствованием данного способа является виброультразвуковой метод. Мойка происходит в турбовакуумном аппарате, снабженном генератором ультразвука, к которому жестко крепится подкассетник, в который помещается кассета с ампулами.
В этом аппарате и выполняются совмещенные операции ультразвукового способа с механической вибрацией. Брак составляет 3—5 %.